Handbook of silicon based MEMS - materials & technologies
- Författare
- (Veikko Lindroos ... et al..)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| William Andrew, Elsevier Science | 2009 | USA, Norwich, N.Y, OAmsterdam | 636 sidor. : ill. | 978-0-8155-1594-4 |